GB 50685-2011 電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范 （完整版）
1 總 則
1.0.1 為確保電子工業(yè)純水系統(tǒng)出水滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，確保電子工業(yè)純水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)做到技術(shù)先進(jìn)、安全適用、經(jīng)濟(jì)合理、操作方便，制定本規(guī)范。
1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工業(yè)純水系統(tǒng)的工程設(shè)計(jì)。
1.0.3 電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)貫徹執(zhí)行國(guó)家的技術(shù)經(jīng)濟(jì)政策，合理選擇水源，節(jié)約能源，節(jié)約用水，節(jié)約用地，保護(hù)環(huán)境，安全衛(wèi)生，提高經(jīng)濟(jì)效益。
1.0.4 電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)主體工程建設(shè)規(guī)劃、生產(chǎn)特點(diǎn)等綜合確定，并應(yīng)經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，擇優(yōu)確定設(shè)計(jì)方案。當(dāng)主體工程為分期建設(shè)時(shí)，純水系統(tǒng)應(yīng)按最終容量(規(guī)模)統(tǒng)一規(guī)劃、合理布局、分期實(shí)施。
1.0.5 電子工業(yè)純水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、檢修、檢(監(jiān))測(cè)和安全運(yùn)行創(chuàng)造必要的條件。
1.0.6 電子工業(yè)純水系統(tǒng)的改建、擴(kuò)建設(shè)計(jì)，應(yīng)合理利用、改造原有設(shè)施。
1.0.7 純水回收和節(jié)水設(shè)施宜與純水制備系統(tǒng)統(tǒng)籌規(guī)劃，并宜同時(shí)設(shè)計(jì)、同時(shí)施工、同時(shí)投運(yùn)。
1.0.8 純水系統(tǒng)排放的廢水，應(yīng)達(dá)到國(guó)家和地方排放標(biāo)準(zhǔn)后再排放。
1.0.9 電子工業(yè)純水系統(tǒng)的工程設(shè)計(jì)，除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。
2 術(shù) 語(yǔ)
2.0.1 電子工業(yè)純水 pure water for electronic industry
電子工業(yè)生產(chǎn)所需的純化水的通稱(chēng)，根據(jù)生產(chǎn)需要的水質(zhì)去除生產(chǎn)所不希望保留的各種離子以及其他雜質(zhì)的水。
2.0.2 電子工業(yè)純水系統(tǒng) pure water system for electronic industry
制取和配送用于電子工業(yè)生產(chǎn)純水的系統(tǒng)，通常包括純水制備、純水的輸送和分配、純水的回收和處理的系統(tǒng)。
2.0.3 軟化水 soft water
除掉部分或全部鈣、鎂離子等后的水。
2.0.4 淤塞指數(shù)(SDI) silt density index
保證反滲透正常運(yùn)行的進(jìn)水水質(zhì)重要指標(biāo)，它通過(guò)被測(cè)水樣對(duì)0. 45μm濾膜的淤塞程度間接表征造成反滲透膜面堵塞的水中微量懸浮物、膠體的含量，又稱(chēng)污染指數(shù)FI。
2.0.5 電阻率 resistivity
度量水溶液阻止電流通過(guò)的能力，等于在一定溫度下，一對(duì)截面積為1cm2的電極在1cm距離間的電阻值，其單位為Ω·cm或MΩ·cm。
2.0.6 電導(dǎo)率 conductivity
度量水溶液導(dǎo)電的能力，等于電阻率的倒數(shù)，其單位為μs/cm或s/cm。
2.0.7 總有機(jī)碳(TOC) total organic carbon
水中溶解性和懸浮性有機(jī)物中碳的總量，反映水中有機(jī)物含量的指標(biāo)。
2.0.8微濾(MF) microfiltration
通常指在外壓作用下，利用篩網(wǎng)狀過(guò)濾介質(zhì)膜的“篩分”作用進(jìn)行分離的膜分離技術(shù)。
2.0.9 超濾(UF) ultrafiltration
通常指在外壓作用下，利用非對(duì)稱(chēng)性膜去除水中亞微米懸浮物的膜分離技術(shù)。超濾能截留分子量范圍為幾百至幾百萬(wàn)的溶質(zhì)和微粒，多為大分子有機(jī)物和膠體。
2.0.10 反滲透(RO) reverse osmosis
在外加壓力作用下，利用一種半透性薄膜使水分子和其他一些物質(zhì)選擇性透過(guò)，從而將絕大部分懸浮物和絕大部分溶解固形物(鹽)截留去除的膜分離技術(shù)。
2.0.11 電脫鹽(EDI) electrodeionization
一種利用裝填陽(yáng)、陰混合離子交換樹(shù)脂或離子交換無(wú)紡布，在直流電場(chǎng)作用下連續(xù)去除水中離子而不需要專(zhuān)門(mén)再生的除鹽裝置的統(tǒng)稱(chēng)。
2.0.12 紫外線殺菌 UV sterilization
通過(guò)波長(zhǎng)254nm的紫外線照射殺滅水中的活菌為紫外線殺菌裝置。
2.0.13 紫外線除有機(jī)碳 UV-TOC Removal
通過(guò)波長(zhǎng)185nm的紫外線照射分解純水中的微量TOC為紫外線除TOC裝置。
2.0.14 膜脫氣裝置(MDG) membrane degasifier
利用膜分離技術(shù)降低水中揮發(fā)性溶解物質(zhì)的裝置，在電子工業(yè)純水系統(tǒng)中主要是脫除純水中的溶解氧。
2.0.15 供水環(huán)路 distribution loop
為保證電子工業(yè)最終使用點(diǎn)的純水水質(zhì)和水壓而采用的有附加循環(huán)水量的不間斷供水方式，最終使用點(diǎn)用水取自從終端過(guò)濾器到純水水箱之間的閉合供水環(huán)路。供水環(huán)路一般由純水精處理系統(tǒng)和供、回水管路共同組成。
2.0.16 背壓調(diào)節(jié)閥組 back pressure regulation unit
設(shè)于純水回水管路末端，通過(guò)調(diào)節(jié)閥通徑大小的變化來(lái)維持、調(diào)節(jié)純水供回水管路壓力的調(diào)節(jié)閥組。
3 純水制備工藝
4 純水輸送和分配
5 純水回收和節(jié)水
6 純水站房
7 藥品貯存、計(jì)量和輸送
8 控制及儀表
附錄A 水質(zhì)全分析報(bào)告
附錄A 水質(zhì)全分析報(bào)告
注：1當(dāng)水源用于反滲透系統(tǒng)處理系統(tǒng)時(shí)，還應(yīng)化驗(yàn)水中Ba2+、Sr2+離子含量。
2當(dāng)水源位于高氟、高錳地區(qū)時(shí)應(yīng)化驗(yàn)水中F-、Mn2+離子的含量。
3當(dāng)水源為中水、再生水等時(shí)，應(yīng)根據(jù)水源來(lái)水構(gòu)成情況化驗(yàn)水中生化耗氧量（BOD5）、化學(xué)耗氧量（CODcr）、氨氮、總有機(jī)碳、總磷、細(xì)菌總數(shù)、游離氯等含量。
4表中分析項(xiàng)目可根據(jù)工程情況酌情增減。
附錄B 離子交換器設(shè)計(jì)參數(shù)
B.0.1 順流再生式離子交換器的設(shè)計(jì)宜符合表B. 0. 1的規(guī)定。
注：1運(yùn)行濾速上限為短時(shí)最大值，對(duì)于強(qiáng)酸陽(yáng)離子交換器和堿陰離子交換器，當(dāng)進(jìn)水水質(zhì)較好或采用自動(dòng)控制時(shí)，運(yùn)行濾速可按30m/h計(jì)算。
2硫酸分步再生時(shí)的濃度，酸量的分配和再生流速，可根據(jù)原水中鈣離子含量占總離子含量比例的不同，計(jì)算或試驗(yàn)確定。當(dāng)采用兩步再生時(shí)，第一步濃度（m/m）0.8%~1%，再生劑用量不應(yīng)超過(guò)總量的40%，流速7m/h~10m/h；第二步濃度2%~3%，再生劑用量總量的60%。流速5M/h~7m/h。采用第三步再生時(shí)，第一步濃度0.8%~1%，流速8m/h~10m/h；第二步濃度2%~4%，流速5m/h~7m/h；第三步濃度小于4%~6%。流速4m/h~^m/h，第一步用酸量為總用酸量的1/3
B.0.2 逆流再生式離子交換器的設(shè)計(jì)宜符合表B. 0. 2的規(guī)定。
注：1大反洗的間隔時(shí)間與進(jìn)水濁度、周期制水量等因素有關(guān)，宜為10d~20d進(jìn)行一次，大反洗后可根據(jù)具體情況增加再生劑量50%~100%。
2頂壓空氣量以上部空間體積計(jì)算，宜為0.2m3~0.3m3；壓縮空氣應(yīng)有穩(wěn)壓裝置。
3應(yīng)避免再生液將空氣帶入離子交換器。
4再生、置換（逆洗）應(yīng)用水質(zhì)較好的水，如陽(yáng)離子交換器用除鹽水、氫型水或軟化水，陰離子交換器用除鹽水。
5進(jìn)再生液時(shí)間不宜過(guò)短，宜達(dá)到30min，如時(shí)間過(guò)短，可降低再生液流速或適當(dāng)增加再生劑量。
B. 0. 3 浮動(dòng)床離子交換器的設(shè)計(jì)宜符合表B. 0. 3的規(guī)定。
注：1最低濾速，陽(yáng)離子交換器大于10m/h，陰離子交換器大于7m/h;樹(shù)脂輸送管內(nèi)流速為1m/s~2m/s.
2硫酸分步再生技術(shù)條件可按本規(guī)范表B.0.1的要求確定。
3反洗周期與進(jìn)水濁度、周期制水量等因素有關(guān)，反洗在清洗罐中進(jìn)行，每次反洗后可根據(jù)具體情況增加再生劑量50%~100%。
4進(jìn)再生液時(shí)間不宜過(guò)短，宜達(dá)到30min，如時(shí)間過(guò)短，可降低再生液流速或適當(dāng)增加再生劑量。
B. 0. 4 雙室床、雙室浮動(dòng)床離子交換器的設(shè)計(jì)宜符合表B. 0. 4的規(guī)定。
注：1最低濾速，陽(yáng)離子交換器大于10m/h，陰離子交換器大于7m/h;樹(shù)脂輸送管內(nèi)流速為1m/s~2m/s.
2硫酸分步再生技術(shù)條件可按本規(guī)范表B.0.1的要求確定。
3反洗周期與進(jìn)水濁度、周期制水量等因素有關(guān)，反洗在清洗罐中進(jìn)行，每次反洗后可根據(jù)具體情況增加再生劑量50%~100%。
4進(jìn)再生液時(shí)間不宜過(guò)短，宜達(dá)到30min，如時(shí)間過(guò)短，可降低再生液流速或適當(dāng)增加再生劑量。
