年產50萬片功率半導體芯片項目工程方案與內容
[環(huán)境影響評價報告 - 資料分享]
發(fā)表于：2025-08-01 17:17:10
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前言
本文概述了功率半導體芯片項目的工程方案、建設內容及工程組成，包括主要生產設備、項目原輔材料及能源消耗、環(huán)保措施等詳細信息。
詳情
1. 工程方案
1.1 工程建設內容
本項目在現有廠區(qū)內實施，主要建設內容包括新增化學品庫、環(huán)保設施的建設施工、設備安裝調試等階段。施工期間將產生施工揚塵、噪聲、廢水和建筑垃圾，需采取相應的環(huán)保措施以減少對環(huán)境的影響。
1.2 工程組成
本項目主要由生產設施、環(huán)保設施及輔助設施組成，具體如下：
1.2.1 生產設施
生產設施主要包括芯片生產車間及相關配套設備。車間內配備有硅片清洗機、溝槽腐蝕機、去膠機、涂硼臺、烘箱、涂鉑臺、擴散爐、測試臺、劃片機、吹砂機、蒸發(fā)臺等主要生產設備，用于功率半導體芯片的生產。
表1 主要生產設備清單
| 序號 | 區(qū)域名稱 | 設備名稱 | 型號 | 數量（臺/套） | 用途 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 清洗區(qū) | 溝槽腐蝕機TVS | NTNY-CW17-09 | 1 | 腐蝕清洗 |
| 2 | 清洗區(qū) | 溝槽腐蝕機GPP | NTNY-CW17-09 | 1 | 腐蝕清洗 |
| 3 | 清洗區(qū) | 清洗機GPP | YLWET-07 | 1 | 清洗 |
| 4 | 清洗區(qū) | 去膠機A | -- | 1 | 清洗 |
| 5 | 清洗區(qū) | 去膠機B | -- | 1 | 清洗 |
| 6 | 清洗區(qū) | 焊接面蝕刻機 | NTNY-CW17-09 | 2 | 腐蝕清洗 |
| 7 | 清洗區(qū) | 清洗機TVS A | -- | 1 | 清洗 |
| 8 | 清洗區(qū) | GPP 爐管清洗機 | -- | 1 | 清洗 |
| 9 | 清洗區(qū) | 清洗機TVS B | -- | 1 | 清洗 |
| 10 | 清洗區(qū) | 表面蝕刻機 | JIS-ET-1000 | 1 | 腐蝕清洗 |
| 11 | 清洗區(qū) | 涂硼臺 | -- | 2 | 涂硼 |
| 12 | 清洗區(qū) | 烘箱/小 | TS-881-015 | 4 | 烘烤 |
| 13 | 清洗區(qū) | 涂鉑臺 | -- | 2 | 涂鉑 |
| 14 | 清洗區(qū) | 擴散清洗機 | -- | 1 | 腐蝕清洗 |
| 15 | 清洗區(qū) | 擴散爐管清洗機 | -- | 1 | 清洗 |
| 16 | 清洗區(qū) | 鉑后清洗機 | -- | 1 | 腐蝕清洗 |
| 17 | 清洗區(qū) | 分割清洗機 | -- | 1 | 清洗 |
| 18 | 清洗區(qū) | 舟檔片清洗機 | -- | 1 | 清洗 |
| 19 | 清洗區(qū) | 烘箱/大 | TS-881-015 | 1 | 烘烤 |
| 20 | 光刻區(qū) | 涂膠機 | DDT88JA3 | 3 | 涂膠 |
| 21 | 光刻區(qū) | 曝光機 | BG403 | 5 | 曝光 |
| 22 | 光刻區(qū) | 黃光烘箱 | PHH-125D | 3 | 烘烤 |
| 23 | 光刻區(qū) | 自動曝光機 | -- | 1 | 曝光 |
| 24 | 光刻區(qū) | 顯影機 | -- | 1 | 漂洗 |
| 25 | 擴散區(qū) | 涂玻璃臺 | -- | 2 | 刮玻璃 |
| 26 | 擴散區(qū) | 擴散爐 | HDC-4380AH/4390A | 18 | 擴散 |
| 27 | 測試區(qū) | 探針臺 | PT-501B/506B | 21 | 測試 |
| 28 | 劃片區(qū) | 激光劃片機 | TH-4212/5212 | 11 | 劃片 |
| 29 | 吹砂區(qū) | 吹砂機 | -- | 3 | 吹砂 |
| 30 | 蒸發(fā)區(qū) | 蒸發(fā)臺 | ESZ-R | 2 | 表面蒸發(fā) |
1.2.2 環(huán)保設施
環(huán)保設施主要包括廢水處理站、廢氣處理裝置、危險廢物暫存間等。廢水處理站采用“中和+沉淀”工藝處理生產廢水、純水裝置反沖洗廢水、清洗爐管廢水、廢氣噴淋塔廢水和初期雨水，確保廢水達標排放。廢氣處理裝置包括堿液噴淋塔和二級活性炭吸附裝置，用于處理生產過程中產生的酸堿廢氣和有機廢氣。危險廢物暫存間用于暫存項目產生的危險廢物，并定期交由有資質的單位處置。
1.2.3 輔助設施
輔助設施主要包括辦公樓、倉庫、配電間等，為生產提供必要的支持和保障。
1.3 項目原輔材料及能源消耗
本項目主要原輔材料包括硅片、化學品（如鹽酸、氫氟酸、硝酸、硫酸、磷酸、異丙醇、氯鉑酸等）、氣體（如液氧、液氮）等。能源消耗主要為電和自來水。項目年綜合能耗為741.1噸標煤，新鮮水耗為43082.19m3，廢水產生量為40014.63m3，固廢產生量為231.07t，其中危險廢物均委托資質單位處置。
表2 項目主要原輔材料消耗情況
| 序號 | 物質名稱 | CAS號 | 化學式 | 分子量 | 相對密度（水=1） | 熔點℃ | 沸點℃ | 蒸氣壓 | 燃燒性 | 閃點℃ | 爆炸極限V% | 毒理性指標 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 乙基纖維素 | 9004-57-3 | C??H??N?O? | 448.47446 | 1.14 | 240-255 | -- | -- | 可燃 | -- | -- | LD??經口-大鼠->5000mg/kg；LD??經皮-家兔->5000mg/kg |
| 2 | 丁基卡必醇 | 112-34-5 | C?H??O? | 162.23 | 0.96 | -68.1 | 230.6 | 0.003kPa(25℃) | 可燃 | 77.8 | 0.7-5.9 | LD??：5660mg/kg(大鼠經口)；2400mg/kg(小鼠經口)；2200mg/kg(兔經口) |
| 3 | 負膠顯影液 | -- | -- | -- | 0.70-0.79 | <-60 | 40-200 | -- | 極度易燃 | -50 | 1.3-6.0 | LD??：67000mg/kg(小鼠經口)；LC??：103000mg/m3，2小時(小鼠吸入)；人經眼：140ppm/8小時，輕度刺激。 |
| 4 | 負膠漂洗液 | -- | -- | -- | 0.88 | -73.5 | 126.1 | 2.00kPa(25℃) | 易燃 | 22 | 1.2-7.5 | LD??：13100mg/kg(大鼠經口)；LC??：無資料 |
| 5 | 丙酮 | 67-64-1 | C?H?O | 58.08 | 0.8 | -94.6 | 56.5 | 30.7kPa(25℃) | 易燃 | -18 (CC) | 2.2-13 | LD??：5800mg/kg（大鼠經口）；5340mg/kg（兔經口）﹔8000mg/kg(兔經皮)；人吸入12000ppm×4小時，最小中毒濃度，人經口200ml，昏迷，12小時恢復。 |
| 6 | 二甲苯 | 1330-20-7 | C?H?? | 106.16 | 0.86 | -34 | 137 | 1.06kPa(25℃) | 易燃 | 25 | 1.1~7 | LD??：1530mg/kg(大鼠經口)；2740mg/kg(兔經皮)；LC??：無資料 |
| 7 | 光刻膠 | -- | -- | -- | 0.83 | -- | -- | -- | 易燃 | 27 | -- | 主要成分包含二甲苯和乙苯。 |
| 8 | 乙苯 | 100-41-4 | C?H?? | 106.16 | 0.87 | -94.9 | 136.2 | 1.33kPa（25.9℃） | 易燃 | 12.8(CC) | 1.0-6.7 | LD??:3500mg/kg(大鼠經口)；17800mg/kg(免經皮)；LC??:55000mg/m3(大鼠吸入，2h)；35500mg/m3(小鼠吸入，2h) |
| 9 | 玻璃粉 | -- | 白色粉末，莫氏硬度為7.8 | -- | 3.58 | -- | -- | -- | 不燃 | -- | -- | -- |
| 10 | 冰乙酸 | 64-19-7 | C?H?O? | 60.05 | 1.05 | 16.7 | 118.1 | 1.52kPa（20℃） | 易燃 | 39(CC) | 5.4-16.0 | LD??：3530mg/kg（大鼠經口）；1060mg/kg（兔經皮）；LC??：1379mg/m3，1小時（小鼠吸入）。 |
| 11 | 氟化銨 | 12125-01-8 | FH?N | 37.04 | 1.009 | 98 | -- | -- | 不燃 | -- | -- | LD??:32mg/kg(大鼠腹腔) |
| 12 | 磷酸 | 7664-38-2 | H?PO? | 98.00 | 1.87 | 42.4 | 260 | 0.67kPa（25℃） | 易燃 | -- | -- | LD??：1530mg/kg（大鼠經口）；2740mg/kg(兔經皮)；LC??：無資料 |
| 13 | 三氧化二硼 | 1303-86-2 | B?O? | 69.62 | 2.46 | 450 | 1860 | 1Pa | 不燃 | -- | -- | 大鼠經口LD??:3150mg/kg；小鼠經口LD??:3163mg/kg； |
| 14 | 鹽酸 | 7647-01-0 | HCl | 36.46 | 1.20 | -114.8 | 108.6 | 30.66kPa（21℃） | 不燃 | -- | -- | LD??：900mg/kg(兔經口)；LC??：3124ppm(大鼠吸入,1h)； |
| 15 | 硫酸 | 7664-93-9 | H?SO? | 98.08 | 1.83 | 10.5 | 330. | 0.13kPa（145.8℃） | -- | -- | -- | LD??：2140mg/kg(大鼠經口)，80mg/kg（小鼠經口）；LC??：510mg/m3，2小時(大鼠吸入)；320mg/m3，2小時(小鼠吸入) |
| 16 | 雙氧水 | 7722-84-1 | H?O? | 34.01 | 1.46-0.4 | 150. | 20. | 0.67kPa（30℃） | 助燃 | -- | -- | 大鼠經口LD??(mg/kg)：376[H?O?90%]；大鼠經皮LD??(mg/kg)：4060[H?O?90%]；小鼠經口LD??(mg/kg)：2000[H?O?90%]。 |
| 17 | 氫氟酸 | 7664-39-3 | HF | 20.01 | 0.988 | -83.3 | 19.4 | 53.33kPa(2.5℃) | 不燃 | -- | -- | LC??：1276ppm(1h)(大鼠吸入)；342ppm(1h)(小鼠吸入) |
| 18 | 硝酸 | 7697-37-2 | HNO? | 63.01 | 1.42 | -42 | 83 | 6.4kPa(20℃) | 助燃 | -- | -- | LC??：130mg/m3(大鼠吸入，4h)；67ppm(小鼠吸入，4h) |
| 19 | 綠碳化硅 | 12070-04-1 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- |
| 20 | 異丙醇 | 67-63-0 | C?H?O | 60.10 | 0.79 | -88.5 | 80.3 | 4.40kPa(20℃) | 易燃 | 12 | 2.0-12.7 | LD??:5000mg/kg(大鼠經口);3600mg/kg(小鼠經口);6410mg/kg(免經口);12800mg/kg(免經皮) |
| 21 | 液氧 | 7782-44-7 | O? | 32.00 | 1.14（-183℃） | -- | 218.8 | 506.62kPa（-164℃） | 助燃 | -- | -- | -- |
| 22 | 液氮 | 7727-37-9 | N? | 28.01 | 0.81(-196℃) | -- | 209.8 | 1026.42kPa，（-173℃） | 不燃 | -- | -- | -- |
| 23 | 乙二醇乙醚 | 110-80-5 | C?H??O? | 90.12 | 0.93 | -70 | 135.1 | 0.51kPa(20℃) | 易燃 | 43(CC) | 1.7-15.6 | LD??:2125mg/kg(大鼠經口);3900mg/kg(大鼠經皮);3300mg/kg(免經皮)；LC??:2000ppm(大鼠吸入，7h) |
| 24 | 哈磨粉 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 不燃 | -- | -- | -- |
| 25 | 氯鉑酸 | 18497-13-7 | H?PtCl? | 409.82 | 2.43 | 60 | 300-400（分解） | -- | -- | -- | -- | LD??：82mg/kg(小鼠腹膜) |
| 26 | 氨水 | 1336-21-6 | NH?OH | 35.05 | 0.92 | -57.5 | 37-38 | 1.59kPa(20℃) | -- | -- | -- | LD??：350mg/kg(大鼠經口)；LC??:1390mg/m3(大鼠吸入) |
| 27 | 無水乙醇 | 64-17-5 | C?H?O | 46.07 | 0.79 | -114.1 | 78.3 | -- | -- | -- | -- | -- |
表3 項目主要原輔材料理化性質一覽表（續(xù)）
| 序號 | 物質名稱 | CAS號 | 化學式 | 分子量 | 相對密度（水=1） | 熔點℃ | 沸點℃ | 蒸氣壓 | 燃燒性 | 閃點℃ | 爆炸極限V% | 毒理性指標 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 28 | 液氧 | 7782-44-7 | O? | 32.00 | 1.14（-183℃） | -- | 218.8 | 506.62kPa（-164℃） | 助燃 | -- | -- | -- |
| 29 | 液氮 | 7727-37-9 | N? | 28.01 | 0.81(-196℃) | -- | 209.8 | 1026.42kPa，（-173℃） | 不燃 | -- | -- | -- |
| 30 | 乙二醇乙醚 | 110-80-5 | C?H??O? | 90.12 | 0.93 | -70 | 135.1 | 0.51kPa(20℃) | 易燃 | 43(CC) | 1.7-15.6 | LD??:2125mg/kg(大鼠經口);3900mg/kg(大鼠經皮);3300mg/kg(免經皮)；LC??:2000ppm(大鼠吸入，7h) |
| 31 | 哈磨粉 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 不燃 | -- | -- | -- |
| 32 | 氯鉑酸 | 18497-13-7 | H?PtCl? | 409.82 | 2.43 | 60 | 300-400（分解） | -- | -- | -- | -- | LD??：82mg/kg(小鼠腹膜) |
| 33 | 氨水 | 1336-21-6 | NH?OH | 35.05 | 0.92 | -57.5 | 37-38 | 1.59kPa(20℃) | -- | -- | -- | LD??：350mg/kg(大鼠經口)；LC??:1390mg/m3(大鼠吸入) |
| 34 | 無水乙醇 | 64-17-5 | C?H?O | 46.07 | 0.79 | -114.1 | 78.3 | -- | -- | -- | -- | -- |
